Photostrom-Spektroskopie von Silicium

Photostrom-Spektroskopie von Silicium

Einband:
Kartonierter Einband (Kt)
EAN:
9783836490887
Genre:
Elektronik & Elektrotechnik
Autor:
Mathias Rommel
Herausgeber:
VDM Verlag Dr. Müller e.K.

Das vorliegende Buch dokumentiert umfassende experimentelle und theoretische Untersuchungen zur Injektionsabh igkeit von Photo strom-Messungen. Die Injektionsabh igkeit der Ladungstr r le bens dauer von Eisen-kontaminierten bordotierten Siliciumproben wurde mit dem konventionellen Elymat-Verfahren experimentell ermit telt und durch zweidimensionale Simulationen verifiziert. Die dabei gewonnenen Ergebnisse sind von grundlegender Bedeutung f r die ebenfalls erfolgte Charakterisierung von Isolator/Silicium-Strukturen mit einem modifizierten Elymat-Verfahren. Erstmals ist es mit dieser Messmethode gelungen, die Grenzfl enzustandsdichte und die Isolatorvolumenladung quantitativ zu bestimmen. Das Buch richtet sich an Ingenieure und Physiker aus dem Gebiet der Halbleiterphysik und -messtechnik.

Autorentext
Rommel, Mathias Dr.-Ing., Studium der Elektrotechnik an der Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg. Masterstudiengang Principles of Renewable Energy Use an der Carl-von-Ossietzky-Universität Oldenburg. Gruppenleiter am Fraunhofer Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie, Erlangen.


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