Mikrosystemtechnik für Ingenieure

Die dritte Auflage des mittlerweile zum Standardwerk gereiften Lehrbuchs trägt den rasanten Entwicklungen in diesem interdisziplinären Gebiet umfassend Rechnung. Insbesondere die Kapitel Siliziumtechnik, Materialien und Alternative Technologien wurden stark erweitert. Außerdem sind neue Anwendungsaspekte hinzugekommen. Somit schlägt dieses Lehrbuch weiterhin in einzigartiger Weise den Bogen von den Grundlagen der Mikrosystemtechnik bis hin zu den aktuellen Anwendungen in einer Vielzahl von High-Tech Entwicklungen.

Autorentext
Prof. Wolfgang Menz, geb. 1938 in Berlin, studierte Physik in Bonn und Hamburg. Nach uber 20 Jahren Tatigkeit in der Industrie (IBM und Robert Bosch GmbH) erhielt er einen Ruf an die Universitat Karlsruhe und wurde gleichzeitig zum Leiter des Instituts fur Mikrostrukturtechnik des Forschungszentrums Karlsruhe und der Universitat Karlsruhe berufen. 1995 erhielt er den Ruf als Grundungsdekan des Fakultat fur Angewandte Wissenschaften der Albert-Ludwigs-Universitat Freiburg i. Br. Prof. Menz war bis Oktober 2001 geschaftsfuhrender Direktor des Instituts fur Mikrosystemtechnik (IMTEK) und bis 2004 Orinarius fur Prozesstechnologie. Seit Fruhjahr 2004 ist er emeritiert.

Dr.-Ing. Jurgen Mohr, geb. 1957 in Karlsruhe, studierte Physik an der Universitat Karlsruhe. Direkt nach dem Studium fand er durch seine Anstellung am Institut fur Mikrostrukturtechnik des Forschungszentrums Karlsruhe Zugang zur Mikrosystemtechnik. Er promovierte 1987 mit einer Arbeit auf dem Gebiet der Rontgenlithographie zur Herstellung von Mikrostrukturen. Im Jahre 1993 wurde er Leiter der Abteilung Rontgentiefenlithographie am Institut fur Mikrostrukturtechnik. Au?er fur die Prozessentwicklung ist er heute fur die anwendungsorientierte Forschungsarbeiten im Bereich der Mikrooptik am Forschungszentrum verantwortlich. Er ist Autor von uber 200 Veroffentlichungen auf dem Gebiet der Mikrosystemtechnik.

Oliver Paul schloss 1986 sein Physikstudium und 1990 seine Promotion zum Dr. sc. nat. an der ETH Zurich ab. Nach einem Postdoc-Aufenthalt am FhG-ISE nahm er ab 1992 am Labor fur Physikalische Elektronik der ETH Zurich die Aufgaben eines Projekt- und Gruppenleiters sowie Lehrbeauftragten wahr. Seit 1998 leitet er den Lehrstuhl fur Materialien der Mikrosystemtechnik am IMTEK der Albert-Ludwigs-Universitat Freiburg. Die Forschungsarbeit seiner Gruppe konzentriert sich auf die Mikrosystemtechnik auf der Basis von Silizium- und IC-Technologien und damit kompatiblen Prozessen, inklusive Entwurf, Herstellung, Materialeigenschaften, Charakterisierung und Theorie. Oliver Paul ist Mitautor von uber 140 technischen Veroffentlichungen, drei Patenten und vier Buchern. Er hat unter anderem die Firma Sensirion mitbegrundet und war Co-Chair der IEEE MEMS Conference 2004 in Maastricht, Niederlande.

Inhalt
ALLGEMEINE EINFÜHRUNG IN DIE MIKROSTRUKTURTECHNIK Was ist Mikrostrukturtechnik? Von der Mikrostrukturtechnik zur Mikrosystemtechnik DIE PARALLELEN ZUR MIKROELEKTRONIK Fertigungskonzepte der Mikroelektronik Aufbau- und Verbindungstechnik Reinraumtechnik DIE NATURWISSENSCHAFTLICHEN GRUNDLAGEN DER MIKROTECHNIK Ein Ausflug in die Quantenmechanik Kristalle und Kristallographie Materialien der Mikrotechnik Grundbegriffe der Elektrochemie und der galvanischen Abscheidung BASISTECHNOLOGIEN DER MIKROTECHNIK Grundlagen der Vakuumtechnik Erzeugung von Dünnschichten Abtragen und Strukturieren von Dünnschichten Oberflächenanalyse LITHOGRAPHIE Überblick und Historie Resists Strukturübertragung Maskenfertigung Strahlungsquellen DIE SILIZIUM-MIKROMECHANIK Mikromechanische Grundstrukturen Die Oberflächen-Mikrotechnik Anwendungsbeispiele DAS LIGA-VERFAHREN Überblick Maskenherstellung Röntgentiefenlithographie Galvanik Abformung Varianten der LIGA-Technik Anwendungsbeispiele ALTERNATIVE VERFAHREN DER MIKROSTRUKTURIERUNG Mechanische Mikrofertigung Laser-Ablation Ionenverfahren AUFBAU- UND VERBINDUNGSTECHNIKEN (AVT) Hybridtechniken Kontaktierungstechniken Klebetechnik Anodisches Bonden Gehäusung SYSTEMTECHNIK Definition eines Mikrosystems Entwurf, Simulation und Test von Mikrosystemen Signalverarbeitung für Sensoren in Mikrosystemen Industrielle Konzepte der Mikrosystemfertigung ANWENDUNGEN Allgemeine Meß- und Regeltechnik Optische Kommunikation Medizintechnik Ausblick

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