Mikrosystemtechnik für Ingenieure

Die völlig neubearbeitete Auflage des ersten umfassenden Lehrbuchs der Mikrosystemtechnik berücksichtigt die neuesten Trends dieses sich rasch entwickelnden Gebietes der Ingenieurwissenschaften. Insbesondere die Kapitel zur Silizium- und LIGA-Technik wurden stark erweitert. Neu hinzugekommen sind anwendungsbezogene Aspekte in der Medizintechnik, Galvanik und Lithographie.

Das Buch spricht überwiegend fortgeschrittene Studenten der Ingenieurwissenschaften an, die einen fundierten Einstieg in dieses aktuelle Forschungsthema suchen. Auch gestandene Fachleute können sich hier einen guten Überblick über die theoretischen und experimentellen Grundlagen der Mikrosystemtechnik verschaffen.

Die dritte Auflage des mittlerweile zum Standardwerk gereiften Lehrbuchs trägt den rasanten Entwicklungen in diesem interdisziplinären Gebiet umfassend Rechnung. Insbesondere die Kapitel Siliziumtechnik, Materialien und Alternative Technologien wurden stark erweitert. Außerdem sind neue Anwendungsaspekte hinzugekommen. Somit schlägt dieses Lehrbuch weiterhin in einzigartiger Weise den Bogen von den Grundlagen der Mikrosystemtechnik bis hin zu den aktuellen Anwendungen in einer Vielzahl von High-Tech Entwicklungen.

Autorentext
Prof. Wolfgang Menz, geb. 1938 in Berlin, studierte Physik in Bonn und Hamburg. Nach über 20 Jahren Tätigkeit in der Industrie (IBM und Robert Bosch GmbH) erhielt er einen Ruf an die Universität Karlsruhe und wurde gleichzeitig zum Leiter des Instituts für Mikrostrukturtechnik des Forschungszentrums Karlsruhe und der Universität Karlsruhe berufen. 1995 erhielt er den Ruf als Gründungsdekan des Fakultät für Angewandte Wissenschaften der Albert-Ludwigs-Universität Freiburg i. Br. Prof. Menz war bis Oktober 2001 geschäftsführender Direktor des Instituts für Mikrosystemtechnik (IMTEK) und bis 2004 Orinarius für Prozesstechnologie. Seit Frühjahr 2004 ist er emeritiert. Dr.-Ing. Jürgen Mohr, geb. 1957 in Karlsruhe, studierte Physik an der Universität Karlsruhe. Direkt nach dem Studium fand er durch seine Anstellung am Institut für Mikrostrukturtechnik des Forschungszentrums Karlsruhe Zugang zur Mikrosystemtechnik. Er promovierte 1987 mit einer Arbeit auf dem Gebiet der Röntgenlithographie zur Herstellung von Mikrostrukturen. Im Jahre 1993 wurde er Leiter der Abteilung Röntgentiefenlithographie am Institut für Mikrostrukturtechnik. Außer für die Prozessentwicklung ist er heute für die anwendungsorientierte Forschungsarbeiten im Bereich der Mikrooptik am Forschungszentrum verantwortlich. Er ist Autor von über 200 Veröffentlichungen auf dem Gebiet der Mikrosystemtechnik. Oliver Paul schloss 1986 sein Physikstudium und 1990 seine Promotion zum Dr. sc. nat. an der ETH Zürich ab. Nach einem Postdoc-Aufenthalt am FhG-ISE nahm er ab 1992 am Labor für Physikalische Elektronik der ETH Zürich die Aufgaben eines Projekt- und Gruppenleiters sowie Lehrbeauftragten wahr. Seit 1998 leitet er den Lehrstuhl für Materialien der Mikrosystemtechnik am IMTEK der Albert-Ludwigs-Universität Freiburg. Die Forschungsarbeit seiner Gruppe konzentriert sich auf die Mikrosystemtechnik auf der Basis von Silizium- und IC-Technologien und damit kompatiblen Prozessen, inklusive Entwurf, Herstellung, Materialeigenschaften, Charakterisierung und Theorie. Oliver Paul ist Mitautor von über 140 technischen Veröffentlichungen, drei Patenten und vier Büchern. Er hat unter anderem die Firma Sensirion mitbegründet und war Co-Chair der IEEE MEMS Conference 2004 in Maastricht, Niederlande.

Inhalt
ALLGEMEINE EINFÜHRUNG IN DIE MIKROSTRUKTURTECHNIK Was ist Mikrostrukturtechnik? Von der Mikrostrukturtechnik zur Mikrosystemtechnik DIE PARALLELEN ZUR MIKROELEKTRONIK Fertigungskonzepte der Mikroelektronik Aufbau- und Verbindungstechnik Reinraumtechnik DIE NATURWISSENSCHAFTLICHEN GRUNDLAGEN DER MIKROTECHNIK Ein Ausflug in die Quantenmechanik Kristalle und Kristallographie Materialien der Mikrotechnik Grundbegriffe der Elektrochemie und der galvanischen Abscheidung BASISTECHNOLOGIEN DER MIKROTECHNIK Grundlagen der Vakuumtechnik Erzeugung von Dünnschichten Abtragen und Strukturieren von Dünnschichten Oberflächenanalyse LITHOGRAPHIE Überblick und Historie Resists Strukturübertragung Maskenfertigung Strahlungsquellen DIE SILIZIUM-MIKROMECHANIK Mikromechanische Grundstrukturen Die Oberflächen-Mikrotechnik Anwendungsbeispiele DAS LIGA-VERFAHREN Überblick Maskenherstellung Röntgentiefenlithographie Galvanik Abformung Varianten der LIGA-Technik Anwendungsbeispiele ALTERNATIVE VERFAHREN DER MIKROSTRUKTURIERUNG Mechanische Mikrofertigung Laser-Ablation Ionenverfahren AUFBAU- UND VERBINDUNGSTECHNIKEN (AVT) Hybridtechniken Kontaktierungstechniken Klebetechnik Anodisches Bonden Gehäusung SYSTEMTECHNIK Definition eines Mikrosystems Entwurf, Simulation und Test von Mikrosystemen Signalverarbeitung für Sensoren in Mikrosystemen Industrielle Konzepte der Mikrosystemfertigung ANWENDUNGEN Allgemeine Meß- und Regeltechnik Optische Kommunikation Medizintechnik Ausblick

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