Mikrosystemtechnik

Die wirtschaftliche Bedeutung der Mikrosystemtechnik hat in den letzten Jahren stark zugenommen. Nach mehr grundlegenden Arbeiten in den 80er Jahren haben ab Anfang dieses Jahrzehnts zunächst große Unternehmen die Möglichkeiten dieser neuen Technik erkannt und genutzt. Heute arbeiten aber bereits auch viele kleine und mittelständische Unternehmen auf dem Gebiet der Mikrosystemtechnik. Zur erfolgreichen Nutzung der Vorteile der Mikrosystemtechnik benötigt der Ingenieur ein fundiertes Grundwissen in den verschiedenen Disziplinen der Mikrosystemtechnik wie Elektronik, Mechanik, Optik, Herstellungsverfahren, Systemtheorie und gleichzeitig für die praktische Anwendung unverzichtbares Wissen in Spezialbereichen. Das vorliegende Buch möchte beiden Anforderungen gerecht werden. Neben grundlegenden Konzepten der Mikrosystemtechnik werden daher immer auch detailliert Realisierungsbeispiele von Mikrosystemen beschrieben. Zahlreiche Übungsaufgaben am Ende eines jeden Kapitels dienen dabei der Selbstkontrolle, aber auch der Festigung des behandelten Stoffes. Das Buch wendet sich an Studierende der Elektrotechnik und der Physik mit dem Schwerpunkt Mikrosystemtechnik. Auch der Praktiker aus der Industrie kann zahlreiche interessante Informationen aus diesem Buch entnehmen.

Zur erfolgreichen Nutzung der Vorteile der Mikrosystemtechnik benötigt der Ingenieur ein fundiertes Grundwissen. Neben grundlegenden Konzepten der Mikrosystemtechnik werden detailliert Realisierungsbeispiele von Mikrosystemen beschrieben. Zahlreiche Übungsaufgaben am Ende eines jeden Kapitels dienen der Selbstkontrolle, aber auch der Festigung des behandelten Stoffes. Das Buch wendet sich an Studierende der Elektrotechnik und der Physik mit dem Schwerpunkt Mikrosystemtechnik. Auch der Praktiker aus der Industrie kann zahlreiche interessante Informationen aus diesem Buch entnehmen.

Autorentext
Prof. Dr. Ulrich Mescheder, Leiter des Mikroelektronik-Laboratoriums, Fachbereich Mechatronik und Mikrosysteme, Fachhochschule Furtwangen



Inhalt
1 Einführung und Begriffsbestimmung.- 1.1 Begriffsdefinition Mikroystemtechnik.- 1.2 Wirtschaftliche Bedeutung.- 1.3 Aufgaben zur Lernkontrolle.- 2 Werkstoffe und technologische Grundlagen.- 2.1 Werkstoffe für Mikrosysteme.- 2.2 Kristallographische Grundbegriffe.- 2.3 Werkstoffdaten von Silizium.- 2.4 Übersicht über Herstellungsverfahren.- 2.5 Aufgaben zur Lernkontrolle.- 3 Mikromechanische Sensoren.- 3.1 Si-Drucksensoren.- 3.2 Si-Beschleunigungssensoren.- 3.3 Abgeleitete mikromechanische Sensoren.- 3.4 Aufgaben zur Lernkontrolle.- 4 Aktorik in der Mikrosystemtechnik.- 4.1 Antriebsprinzipien.- 4.2 Realisierungsbeispiele für Mikroaktoren.- 4.3 Fragen zur Lernkontrolle.- 5 Optik in der Mikrosystemtechnik.- 5.1 Integrierte Optik.- 5.2 Diffraktive Optik.- 5.3 Aufgaben zur Lernkontrolle.- 6 Systemtechniken.- 6.1 Integrationstechniken auf Chipebene.- 6.2 Verbindungstechnik auf Wafer- und Chipebene.- 6.3 Gehäusetechnik.- 6.4 Kommunikationsstrukturen innerhalb und zwischen Mikrosystemen.- 6.5 Mikrosystementwurf.- 6.6 Aufgaben zur Lernkontrolle.- A Verzeichnis der verwendeten Formelzeichen.- B Beispiel einer FEM-Analyse eines mikromechanischen Sensors.- C Tabellenverzeichnis.- D Abbildungsverzeichnis.- Sachindex.

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